臭氧會自行分解為氧氣，不產生殘留污染，消毒后不需通風換氣。常規消毒均需通風換氣或化學中和，麻煩而又降低消毒效果。臭氧可直接對食品使用作殺菌或防霉保鮮，為干法消毒，簡單易行。臭氧殺菌濃度對食品是極微弱的氧化濃度，對食品無害。

1904年國外就有利用臭氧保存牛奶、肉制品、奶酪、蛋白等食品的報道， 1909年法國德彼涅冷凍廠正式使用臭氧對冷凍肉表面殺菌。二戰后，歐洲國家發展了用于遠洋運輸船舶食品冷藏倉消毒、防霉、保鮮的臭氧發生器.到八十年代中期，包括我國在內的食品船艙都裝備了臭氧設備，現已推廣到食品集裝箱、食品冷藏車內。

臭氧具有殺菌力強，不產生二次污染的優越性，在發達國家被廣泛應用于食品工業、醫藥工業、飲料生產、日化工業、遠洋運輸及餐飲業等。臭氧在我國的應用在90年代初期起步，經歷了十多年的歷程，正在不斷的成熟和完善中。

(1) 臭氧到處滲透，沒有死角。紫外線只有照射到物體表面且達到一定的照射強度標準才有殺菌效果。食品車間一般比較高大，致使紫外線照射強度遠遠不夠，特別是距離遠，照射產生很大死角，如加工案板下部等。臭氧為氣體，滲透性強，擴散性好，濃度均勻，沒有死角；

(2) 殺菌速度快。紫外線照射殺菌需要較長的作用時間，一般要照射6小時以上，而符合標準濃度的臭氧只需開機1小時以上；

(3) 高濕度下殺菌效果更好。紫外線照射殺菌在環境相對濕度達到60%以上時，消毒效果急劇下降，濕度達到80%以上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高，殺菌效果越好。這是由于高濕度下細胞膜膨脹變薄，其組織容易被臭氧破壞，這一特性對于食品行業中普遍存在的高濕環境特別適合；

(4) 有低濃度保潔功能。紫外線照射時生產人員必須離開現場，照射完成后無法用低功率的紫外線照射保潔；臭氧消毒時生產人員必須離開現場，消毒完成后可以調低臭氧發生量，用符合國家衛生標準的低濃度臭氧繼續保持生產車間的空氣清潔。

依靠其強氧化性能可快速分解產生臭味及其其它氣味的有機或無機物質后達到脫臭效果，將臭味根源物質分解成無害物質。例如：將氨氣化成二氧化碳和水。